往復式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設備，用以從內部壓力等于或低于一個大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35℃。往復泵的極限壓力，單級為4×102～103Pa，雙級可達1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。

往復泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過濾等方面抽除氣體。

往復式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口1處必須加裝過濾器。

往復式真空泵工作原理

往復泵的工作原理，如圖2所示。泵的主要部件是氣缸1及在其中做往復直線運動的活寨2。活寨的驅動是用曲柄連桿機構3來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。

圖2 往復式真空泵工作原理圖

泵運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當汪室在等舸內從存端向右端話動時。由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減少，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右側位置時，氣缸內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環，如此反復下去，直到被抽容內的氣體壓力達到要求時為止。

在實際應用中，為了提高抽氣效率，泵多半采用雙作用氣缸，即活塞能在兩個方向(往復)上同時進行壓縮和抽氣，這主要是依靠配氣閥門來實現的。國產的w型往復泵即是單級的雙作用泵。

往復式真空泵按結構分類

往復泵有干式往復泵和濕式往復泵之分。干式泵只能抽氣體，濕式泵可抽氣體和液體的混合物。二者在結構方面沒有什么原則性的不同，只是濕式泵內的死空間和配氣機構的尺寸比干式泵大一些，因此濕式泵的極限壓力要比干式泵的高。往復泵有臥式和立式兩種型式(國產為W和WL型)。立式泵從結構和性能上較為先進，它是臥式泵的更新換代產品。如國產的WL系列立式泵與老式W型臥式泵相比，有如下優點：

(1)功率消耗平均減少1/3，節能顯著：例如，原W5功率為22KW，而WL-200為15KW;原W4為11KW，而WL-100為7.5KW。

(2)占地面積平均減少2/3：如原W5型占地為3.8m2，而WL-200為1.2m2。

(3)振動降低：WL系列泵消除了橫波劣性振動，噪聲平均降低5dB以上。

(4)使用壽命長：立式泵由于結構合理，受力均勻，使得各運動部位磨損減輕。